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专利名称: 一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法
专利类别: 发明
申请号: 2013101132893
申请日期: 2013-04-02
专利号: ZL2013101132893
第一发明人:
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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