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课题组公用仪器设备

纳米光子学超细微加工系统

稿件来源:理化技术研究所 发布时间:2011-03-11

                                                                                                                       生产厂家:金沙澳门官网理化技术研究所研制
操作方式:经培训在工作人员指导下自行操作
服务时间:周五9:00-17:00 
管理人员:董贤子 郑美玲
联系方式:010-82543597; dongxianzi@mail.ipc.ac.cn, zhengmeiling@mail.ipc.ac.cn
仪器简介: 纳米光子学超细微加工系统是基于非线性过程-多光子吸收为基础的一种最新的真三维加工技术,该系统采用波长780纳米的,脉冲宽度小于120fs,重复频率80MHz的飞秒激光作为光源,利用计算机控制的扫描范围300um*300um*300um的压电微移动平台及二维振镜系统可实现任意二维及三维结构高速扫描;最小加工特征线宽:小于100nm;该系统可为相关微纳米结构领域的科研工作者提供简单、快速、成本低廉的加工工具。
主要用途:用于正胶或负胶型材料二维、三维结构加工;聚苯乙烯空心微球烧孔;高分子聚合物树脂材料聚合特性分析;生物活细胞双光子漂白分析等。 
应用实例: 

三维金刚石结构光子晶体

三维千里马

并行加工,咬合齿轮

 
 


  纳米线阵列,最小线宽50纳米    悬空线22纳米    聚苯乙烯微球烧孔

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